气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，气体热质量流量计公司，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。

热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？

流量控制器

紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。

很多朋友对热式气体质量流量控制器和质量流量计的单位还有不理解的地方，今天咱们就来好好理解一下流量控制器和流量计在生活中所常用的单位。质量流量计和流量控制器的工作原理

一般地，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升；m代表minute，指分钟；其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。松盛测控将标准状态规定为：气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—20℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。怎么样区分热式气体质量流量控制器与质量流量计

而对一些朋友而言：体积流量的表示方法很符合习惯，进口气体质量流量计公司，也便于使用，定量流量计公司，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。也有一些朋友习惯用流速来表示，山东流量计公司，流速可以经过简单的计算得到转换成流量，流量和流速的换算关系由以下公式进行计算：Q=V·S，其中V代表气体在管道中的流速，S为钢管的截面积，Q代表气体在特定的时间内流过的流量。其中Q的单位是m/s，V的单位是m/s，S的单位㎡。

定量流量计公司-厚礼博(在线咨询)-山东流量计公司由厚礼博精密仪器(北京)有限公司提供。厚礼博精密仪器(北京)有限公司是北京 朝阳区 ,流量仪表的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在厚礼博领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创厚礼博更加美好的未来。