真空系统常用名称①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

滑阀泵：由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

直联旋片泵：随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

内走漏的影响:　　在整个钢液处置过程中, 体系的真空度是跟着钢液的放气量的削减而不断升高的。在钢液处置前期, 体系真空度低, 放气量大, 需求前级泵的抽气才能大, 通常选用多个泵并联的方式增大体系的抽气量。而当体系真空度不断升高时, 体系的放气量也随之削减, 为了下降蒸汽耗量, 节省能源, 需封闭前级并联泵中的若干只。泵布局图中的3A、3B、4A、4B 被称作前级泵, 或叫预抽泵,B1、B2叫增压泵。当全泵投入时, B1、B2 开, 3B、4B 泵封闭。在布局图中可见体系是经过两个逆止阀与3B、4B 泵进行衔接的, 若是这两个逆止阀开关不到位,或许有走漏, 都会给体系的才能形成影响尤其是阀的走漏会形成体系短路, 使上一级泵因背压过高而无法正常作业, 呈现二重真空表象。其次, 真空泵的喷嘴是由两部分组成的, 这两部分是靠法兰衔接的,关于联接法兰在泵体内的真空泵, 若联接处因为密封等缘由形成蒸汽的走漏, 也会给泵的功能形成影响。