钝化液配方热解法淀积三氧化二铝膜的性质与衬底温度关系很大。如在250℃时淀积，薄膜与衬底粘附性差，易于刮去，如在400℃时淀积，则膜与衬底粘结良好。热解淀积三氧化二铝薄膜的装置示于图5-4。用干氮通过170℃的AI(OC3H7)3蒸发器，AI(OC3H7)3蒸气压为50毫米柱，然后与大量的氮气混合，进入钟罩反应室，气体混合物产生热解反应生成三氧化二铝膜。一般淀积温度为420。C，典型的淀积速率为200埃/分，如在淀积时同时通入氧气，则淀积速率将降低。






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