环保柜氦测漏系统





如何正确使用氦气检漏设备?

检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系,背景浓度越高,波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域,背景浓度将在整个工作日持续增加。此外,在加注或排放过程中,确保没有气体溢出,并定期检查连接件是否有泄漏。如果检漏气体泄漏氦和氢,它将像气球一样飞到检漏区的室顶,环保柜氦测漏系统,并逐渐漂浮在整个检漏区。因此,应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动,因此建议从底部输入新鲜空气,从顶部向外排放气体。



氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,故成本也较高。




真空设备检漏

氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

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