鉴于高纯氦气通常以高压气态或液态形式存在，且具有一些特殊的物理化学性质，其储存与运输过程中的安全问题必须给予高度重视。
在储存方面，液态高纯氦气一般储存在专门设计的低温绝热储罐中。这些储罐采用多层绝热结构，很大限度地减少热量的传入，防止液氦因蒸发而造成损失和压力升高。同时，储罐配备有准确的液位监测、压力监测和安全阀等安全装置，能够实时监控储罐内的状态，并在压力异常升高时自动释放压力，确保储存安全。
对于气态高纯氦气，通常采用高压无缝钢瓶进行储存。钢瓶必须符合严格的质量标准和安全规范，定期进行检验和维护，以保证其耐压性能和密封性能良好。储存场所应通风良好，远离火源、热源物品，并且要设置明显的警示标志和防护设施。
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高纯氦气的使用会对环境造成污染吗？
高纯氦气的使用本身不会直接对环境造成污染。
氦气是一种无色、无味、无臭的惰性气体，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应，且无毒无害。然而，需要注意的是，虽然高纯氦气的使用不会直接产生污染，但在氦气的开采、提纯和使用过程中，如果处理不当，可能会对环境造成一定影响，如能源消耗、温室气体排放等。
因此，在使用高纯氦气时，需要采取适当的措施来减少对环境的影响。
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在当今科技飞速发展的时代，高纯氦气在众多关键领域发挥着不可或缺的作用。
在半导体制造过程中，高纯氦气被广泛应用于芯片的光刻、蚀刻以及薄膜沉积等工艺环节。
高纯氦气作为一种惰性保护气体，能够有效防止芯片在制造过程中受到杂质的污染，确保芯片的微观结构和电学性能的高度一致性与稳定性。例如，在极紫外光刻（EUV）技术中，超纯氦气的能供应对于实现高精度的芯片图案转移至关重要，其微小的杂质含量波动都可能导致芯片出现缺陷，影响整个集成电路的性能与成品率。
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