微流控光刻机介绍-顶旭(在线咨询)-黑龙江微流控光刻机

技术参数




曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;

曝光面积:4英寸、6英寸可选;

曝光方式:单面接触式定时曝光;

曝光分辨率:2um;

曝光强度:20~200mW/cm2可调;

曝光不均匀性:≤5%;

光源平行性:≤2°;

光源寿命:≥20000h;

电源输入:AC220V±10V,50HZ

功率:250W

重量:25kg

外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)

工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累,微流控光刻机报价,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高pin质的解决方案。




顶旭桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障卓yue的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<2°的平行光,相较传统接触式曝光机,其极zhi紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精zhun。




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使用方法该设备操作简单,易于上手,微流控光刻机企业,具体操作如下:

一、曝光前准备工作

1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,黑龙江微流控光刻机,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。




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