蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。水环式真空泵初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、及食品等许多工业部门。了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，真空泵多少钱，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

随着真空技术在应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

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