广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修推荐 adixen ATH400M分子泵维修
高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。adixen ATH400M分子泵维修,因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,特别是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越长,故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的时间达到主泵可以工作的压力,这样可以使系统尽快地进入工作压力,保证了设备的使用效率。adixen ATH400M分子泵维修
由于负荷大,转子和壳体温差不断zeng高,使间隙不断增大,这会使首逆流增大,引起罗茨真空泵抽速下降。为了克服这个缺点,罗茨泵在高负荷下工作时,需要采用有效措施,一般是将罗茨真空泵的外壳和转子同时采用油循环系统进行冷却。adixen ATH400M分子泵维修
随着螺旋升角和牵引槽深度增大,氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙,不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时,氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度,同时复合分子泵牵引级性neng可靠且结构安全。adixen ATH400M分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修推荐 分子泵升级改造
分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。
当活塞到达上部顶端时,关闭进气阀,同时打开排气阀,使膨胀机与低压端相通,气体膨胀制冷,活塞向下移动把冷量贮存在活塞内的蓄冷器中。如此多次循环,便在一、二级冷头处分别获得低于80K和20K的低温和所需的制冷功率,并使气体在低温面上凝结,在活性炭上吸附而被抽除。
前级泵对于充分发挥涡轮分子泵的性能非常重要。安捷伦的真空产品选型手册为各个涡轮分子泵型号匹配的前级泵提供了具体建议,采用推荐的前级泵可以为涡轮分子泵提供合适的前级压力。有的型号推荐了多款前级泵,用户可以根据具体的工艺进行选择:腔体很大、需要频繁粗抽,工作压力较高或者气载比较大的应用,选择抽速较大的前级泵;反之选择抽速较小的前级泵。
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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修推荐 阿尔卡特真空泵维修
真空泵用的行业比较多,如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多,一种是水环泵(以水位介质循环的),另外一种是干泵,像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵,因为它对介质的要求比较广泛一些。像螺杆真空泵、罗茨泵,在电子行业用的比较多。阿尔卡特真空泵维修
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中,Alcatel二手分子泵维修推荐,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备等。阿尔卡特真空泵维修
众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。
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