真空泵组阀片的作用：阀片其实对于真空泵机组的运行起到了很大的作用，如果阀片受损就会严重影响机组的正常运转情况，所以这就需要对阀片做好定期检查，从而确保阀片能够长久保持良好的使用状态。真空泵组在运行过程中会出现机械故障，为了预防这些可能出现的故障，首先保证设备的密封效果，一般会在真空泵两端的柔性排气孔上安装一组阀片，阀片的作用是为了尽可能的缓解由于真空泵工作出现的气压不稳影响到内部压缩作业效果的情况。

内走漏的影响:　　在整个钢液处置过程中, 体系的真空度是跟着钢液的放气量的削减而不断升高的。在钢液处置前期, 体系真空度低, 放气量大, 需求前级泵的抽气才能大, 通常选用多个泵并联的方式增大体系的抽气量。而当体系真空度不断升高时, 体系的放气量也随之削减, 为了下降蒸汽耗量, 节省能源, 需封闭前级并联泵中的若干只。泵布局图中的3A、3B、4A、4B 被称作前级泵, 或叫预抽泵,B1、B2叫增压泵。当全泵投入时, B1、B2 开, 3B、4B 泵封闭。在布局图中可见体系是经过两个逆止阀与3B、4B 泵进行衔接的, 若是这两个逆止阀开关不到位,或许有走漏, 都会给体系的才能形成影响尤其是阀的走漏会形成体系短路, 使上一级泵因背压过高而无法正常作业, 呈现二重真空表象。其次, 真空泵的喷嘴是由两部分组成的, 这两部分是靠法兰衔接的,关于联接法兰在泵体内的真空泵, 若联接处因为密封等缘由形成蒸汽的走漏, 也会给泵的功能形成影响。

干泵;国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。