超声波抛光是利用工具诺面作超声频振动，通过磨料浮液抛光脆硬材料的一种加工方法。加工时，在抛光区加入带有磨料的工作液，并使抛光工具对工件保持一定的静压力(3~5N)，推动抛光工具作平行于工件表面的往复运动，运动频率为每分钟10~30次超声换能器产生16 000Hz以上的超声频纵向振动，并借助于变幅杆把振幅放大到10 ~ 20m左右，驱动地光工具端面作超声振动，迫使工作液悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断撞击、磨削被加工表面，把加工区域的材料粉碎成很细的微粒，并从材料上打击下来。虽然每次打击下来的材料很少，但由于每秒钟打击次数多达16 000次以上，所以仍有一定的加工速度。与此同时，工作液受到工具端面超声振动作用而产生的高频、交变的液压正负冲击波和“空化”作用，促使工作液钻入被加工材料的微裂纹处，加剧了机械破坏作用。所谓空化作用，是指当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工作液体内形成很多气穴当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，气泡，引起极强的液压冲击波，在振动面和相对应的加工表面上引起气蚀，气蚀有两个作用:，当因气穴所产生的气泡时，在一瞬间，周围介质受到很大冲击力，就用这个力在工件表面上产生微小的机械蚀除效果，第二，由于磨料对表面的冲击和气蚀引起的显微裂纹，在随后的瞬时由气穴吸引作用把细微屑末从工件表面剥下来。由此可见，超声空化作用可以强化加工过程。此外，正负交变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新，切屑能够及时地排除。超声振动使工具具有自刃性，能防止磨具气孔堵塞，提高了磨削性能。变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新，切屑能够及时地排除。超声振动使工具具有自刃性，能防止磨具气孔堵塞，提高了磨削性能。
等离子技术抛光过程中理想的抛光温度是多少?
抛光液的温度越低，材料的去除速度越快。低温条件下材料的去除速度快主要是因为:温度越低，抛光液被蒸发需要吸收的热量就越多，相同条件下生成的气体越少，包围在零件周围的混合气体层越薄，而在压强和电压不变的情况下，气体变薄就意味着电场强度增大，导致碰撞电离系数显著增大，虽然总的碰撞距离减小，但仍然有更多的电子冲击到工件表面，材料的去除速度当然更快。但在抛光液低温情况下，混合气体层较薄，也意味着气体层不太稳定，等离子抛光过程中断并转变一般电解的的可能性越大，同时气体层薄也意味着系统的电阻减小，电流增大，且电流值大幅度变化，常常引起零件尖锐部位烧蚀等现象，这对复杂形状零件和大尺寸零件来说特别明显。
铜自动抛光设备中的抛光压力也是影响抛光质量的重要因素。抛光电压的不足会导致等离子束无法完全覆盖整个抛光表面，从而影响抛光效果；抛光电压过大会导致表面过度磨损和腐蚀，影响抛光表面的平整度和光泽度。因此，在操作铜自动抛光设备时，需要根据不同的抛光材料和工艺参数调整抛光电压，以获得的抛光效果。铜自动抛光设备中使用的气体种类也会影响抛光质量。不同种类的气体在等离子体中的电离能和电子亲和能不同，影响等离子体的稳定性和能量分布。因此，在操作铜自动抛光设备时，需要根据不同的抛光材料和工艺参数选择合适的气体种类，以获得的抛光效果。
