广州潽拓光电科技有限公司——Edwards分子泵机组

Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，Edwards分子泵机组维护，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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Edwards RV系列油封旋片泵功能，同时具备高真空和高吞吐量性能，清远Edwards分子泵机组，低的噪音级别和的气囊装置，使其成为适用于应用和环境的理想产品。这些泵的抽速范围为3至12 m3/hr。Edwards RV12油封式旋片真空泵爱德华真空泵Edwards真空泵旋片泵油回转高真空泵爱德华RV12油封式旋片真空泵Edwards真空泵。

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涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

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