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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,爱德华磁悬浮涡轮泵保养拆解,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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nEXT 平台实现高度的模块化,为满足客户应用和需求提供了*大的灵活性。 每台泵都提供两种不同的内部配置,以实现不同的性能。





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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。

该分子泵有80W和160W两种zui大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽ya气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。




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广州潽拓维修二手爱德华Edwards EXT70H DN40 NW分子泵



    英国爱德华EDWARDS产品包括:Edwards真空泵、Edwards真空阀、Edwards高压泵、Edwards涡轮分子泵、Edwards流程泵、Edwards发光二极管等。他们的产品是半导体,平板显示器,LED和太阳能电池制造工艺不可或缺的一部分;在越来越广泛的工业过程中使用,包括电力,玻璃和其他涂料应用,钢铁和其他冶金,制药和化学;以及用于科学仪器和广泛的R&D应用程序








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