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扩散泵的缺点是返油问题，shimadzu进口真空泵检修，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。岛津涡轮分子泵保养公司

泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，岛津涡轮分子泵保养公司，泵长期连续运转入中压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀（例如2X-8）等部位。

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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机***进行检查。在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。shimadzu真空泵设备保养

旋片式真空泵特征：

1、体积小、重量轻、噪音低。

2、设有气镇阀，可抽除少量水蒸气。

3、极限真空度高。

4、内置强制油泵，润滑充分，。

5、设有自动防返油止回阀，双重保险装置，启动方便 。

6、保持进气压强为≤1.33*1000Pa时，仍可连续运转。shimadzu真空泵设备保养

7、不漏油，不配油，不污染工作环境

降低水环真空泵发热现象大家需要从以下几个方面进行处理：

1、抽气处加装降温设备，建议使用零下10度的冷水降温。

2、设备的前级泵工作液降温要有降温措施，水温低于20度。

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循环冷却水

 冷却水供应不足时，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中起着重要作用。冷凝水可以充分凝结蒸汽，真空泵排出压力中的水蒸气分压必须高于相应的整体蒸气压，因此冷凝水的温度也必须低于此压力下的整体温度，才能保证泵体的正常运行。

真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

机械泵可以做到的真空度大约是1Pa，也就是大气压力的十万分之一。当然，那样的真空度还远远地达不上许多物理实验的规定。这种转变假定产生颗粒物、可凝物或是腐蚀物质，就将会阻塞真空泵或管道系统软件，危害真空泵特性，导致工作压力升高或过压，一点中提及的危险因素也更大。这时候就需要请出另一位“泵”届巨头，分子泵。分子泵运用靠高速运转的动叶片和静止不动的定叶片互相配合，给气体分子一个附加的定项速率，从内腔中抽出来。

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

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