真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

 检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。了解被抽气体成分，螺杆真空泵，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。

 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环式真空泵得到广泛的应用。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

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