真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,高压柜氦检漏系统,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,板式换热器氦检漏系统,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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氢气的应用场合
氢气,包膜式氦检漏系统,化学式为H?,分子量为2.01588,常温常压下,是一种极烧的气体。
氢气是世界上已知的密度小的气体,氢气的密度只有空气的1/14,即在1标准大气压和0℃,氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气,而不采用高耗能的电解水的方法。
氢气一般出现在1.做还原气:金属加工。2.做保护气:金属加工。3.做燃料气:电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质:电厂。5.做为化工介质:油脂加氢。6.做燃料用:液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。
氦质谱检漏仪:
1、氦气的质量轻,氦检漏系统,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
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