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⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

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并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，德国贝克BECKER印刷泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使设备获得更高的真空。

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平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2-一P1)压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

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