洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，即墨净化工程造价，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，以确保空气的含尘浓度较低，减少外部尘源影响，半导体净化工程造价，提高洁净室的净化效果，并大大延长高效过滤器的使用寿命，多晶硅净化工程造价，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m3/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。

净化方案三：分体空调柜机+FFU送风口：这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，集成电路净化工程造价，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);佰伦风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。方案特点：A、无尘车间的洁净度：LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。 B、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。 C、新风量大 D、送风量大

方案特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。光学微电子净化工程一般包括：1、 洁净生产区；2、洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）3、管理区（包括办公、值班、管理和休息等）

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