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  对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，系统内氢气占的比例越来越大，安捷伦分子泵报警代码，而此时氢气的返流也越来越明显，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，安捷伦Turbo-V750，则实际有效抽速已经所剩无几。

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安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现zui大的压差

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瓦里安Turbo-V801分子泵维修Varian 复合涡轮泵保养，安捷伦分子泵报警，Varian Turbo-V801瓦里安涡轮分子泵进气法兰口ISO160-F，出气法兰口KF25，分别抽速可达到680 L/s ，转速为38000rpm，对应的控制器为：Varian Turbo-V801，

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该泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。

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