抛光液的温度越低，材料的去除速度越快。低温条件下材料的去除速度快主要是因为: 温度越低，抛光液被蒸发需要吸收的热量就越多，相同条件下生成的气体越少，包围在零件周围的混合气体层越薄，而在压强和电压不变的情况下，气体变薄就意味着电场强度增大，导致碰撞电离系数显著增大，虽然总的碰撞距离减小，但仍然有更多的电子冲击到工件表面，材料的去除速度当然更快。但在抛光液低温情况下，混合气体层较薄，也意味着气体层不太稳定，等离子抛光过程中断并转变一般电解的的可能性越大，同时气体层薄也意味着系统的电阻减小，电流增大，且电流值大幅度变化，常常引起零件尖锐部位烧蚀等现象，这对复杂形状零件和大尺寸零件来说特别明显。随着抛光液温度的提高，等离子纳米抛光过程开始稳定，90-100属于理想加工温度范围，在这一范围内材料的去除速度虽然不是快，却更容易获得更好的表面质量。温度继续升高将导致抛光液气化增强，混合气层温度升高厚度增加，加工时间也相应延长。当抛光液温度达到95-99°C时，等离子加工过程转到泡沫状态。抛光液沸腾，蒸气气层失去自身的尺寸和形状整个零件处于连续移动的泡沫中，其电阻与等离子理想加工状态的气层电阻值相比大大提高，此时被加工表面电流也会减小。
等离子抛光技术的不足可以通过以下方法来解决
对于不能去除的表面缺陷，可以在等离子抛光之前或之后采用其他的表面处理方法，如机械抛光、电解抛光、离子束抛光等，以达到更好的效果。对于抛光液的补充或更换，可以采用自动化或智能化的控制系统，实时监测和调节抛光液的温度、浓度、pH值等参数，保证抛光液的稳定性和有效性。对于抛光深度较浅的问题，可以通过优化工艺参数，如电压、电流、时间、间隙等，增加等离子体与工件表面的作用强度和时间，提高抛光深度和精度。对于设备的投资成本较高的问题，可以通过提高设备的性能、稳定性、寿命和可靠性，降低设备的运行和维护成本，提高设备的使用效率和回收率，增加设备的经济效益。对于技术的研发和应用还不够成熟的问题，可以通过加强科研投入和合作，开展更多的理论和实验研究，探索更多的应用领域和优化参数，制定更多的标准和规范，推广更多的技术交流和。
等离子纳米抛光是一种全新的金属表面处理工艺——仅在工件表面的分子层与等离子反应，分子中原子一般间距为0.1-0.3纳米，处理深度为0.3-1.5纳米。抛光物的表面粗糙度在1mm范围内，因此等离子纳米抛光处理可以化学活化工件表面，去除表面分子污染层，交叉链接表面在化学物质。等离子也称为物质的第四态，是一种电磁气态放电现象，使气态粒子部分电离，这种被电离的气体包括原子、分子、原子团、离子和电子。等离子就是在高温高压下，抛光剂水溶，但是在高温高压下，电子会脱离原子核而跑出来，原子核就形成了一个带正点的离子，当这些离子达到一定数量的时候可以成为等离子态，等离子态能量很大，当这些等离子和要抛光的物体摩擦时，顷刻间会使物体达到表面光亮的效果。
