等离子抛光技术是否能够实现样件表面微观整平，利用离子放电原理，使放电通道更多的是在微观凸起的位置形成，则微观凸起位置的材料优先去除，表面粗精度降低。一定条件下抛光所能达到的粗糙度值取决于放电所形成的坑痕的深度，坑痕深度越小，粗糙度值越小。对于抛光开始阶段呈现出的粗糙度快速下降趋势，是因为在抛光的前5分钟，由于样件表面存在明显凹凸不平的状态，而凸起的位置电场强度大，因此放电通道更多地选择在凸起的位置形成，粗糙度下降速度快，随着抛光时间的延长，样件凹凸不平的状态得到改善，放电通道更多在微观凸起位置形成的趋势减弱，因此粗糙度下降的速度减小。

等离子也称为物质的第四态，是一种电磁气态放电现象，使气态粒子部分电离，这种被电离的气体包括原子、分子、原子团.离子和电子。等离子就是在高温高压下，抛光剂水溶，在高温高压下，电子会脱离原子核而跑出来，原子核就形成了一个带正电的离子，当这些离子达到一定数量的时候可以成为等离子态，等离子态能量很大，当这些等离子和要抛光的物体摩擦时，项刻间会使物体达到表面光亮的效果。抛光一次会导致工件向上的部分效果会会稍微差一些、所以需要抛两次、就是把效果稍差的一面翻转180°、再做一次、即可做到均匀。

抛光机的反应博体是在抛光过程中的一个极板、承载着电流流过的路径、也承担着离子发射的作用、在槽子里面还装有用来加热的发热管。用绝缘板将槽子和机架隔开是为了更好的保护操作者的使用安全。如果不隔开一旦发热管漏电将会让整个设备外壳都带上电、很危险，如果抛光直流电、人不小心靠到设备外壳摸到挂架也会造成触电事故，但是采用绝缘板将反应槽隔开就不会有上述问题出现、其实在这个绝缘之前还会安装漏电保护开关来防止上述问题发生、做绝缘只是多一道保护屏障而已。