潽拓——leybold涡轮分子泵,分子泵
莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,leybold涡轮分子泵维修,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
广州潽拓光电科技有限公司——leybold涡轮分子泵
Leybold*早将陶瓷轴承应用于分子泵,其rotor设计充分考虑到加工的应力,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
Leybold TW70LS德国莱宝真空分子泵,leybold涡轮分子泵, Oerlikon TW70LS涡轮分子泵的进气法兰口DN63,leybold涡轮分子泵价格,抽速可达到66l/s 转速为72000rpm,leybold涡轮分子泵保养, Oerlikon Leybold TW70LS专门用于Leybold 氦质谱检漏仪。
广州潽拓光电科技有限公司——leybold涡轮分子泵
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潽拓光电成功维修Oerlikon莱宝半磁浮分子泵-Leybold TURBOVAC 450i
分子泵设计理念
莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴承和转子技术的涡轮分子泵。如TURBOVAC系列机械轴承标准分子泵;TURBOVAC
MAG系列磁悬浮轴承分子泵;TURBOVACi/iX系列半磁浮分子泵(半磁浮分子泵仅在排气端配置脂润滑轴承,高真空端配置免维护的永磁轴承)。莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。
leybold涡轮分子泵-潽拓光电由广州潽拓光电科技有限公司提供。“分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统”选择广州潽拓光电科技有限公司,公司位于:广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号,多年来,潽拓光电坚持为客户提供好的服务,联系人:邹先生。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。潽拓光电期待成为您的长期合作伙伴!