普发真空分子泵1200-普发真空分子泵-广州潽拓光电公司
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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





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   这个特点,可用于安装位置受限制的地方。 我公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,普发真空分子泵保养,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力,充满活力的高素质团队。伴着严谨的内部项目实施管理,控制制流程,确保每一项真空设备的工艺技术性和质量的优佳性、可靠性。

涡轮分子泵的优点:

 (1)清洁,无油蒸汽返流 涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,普发真空分子泵80,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

 (2)使用方便 在许多应用中,涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮,泵便能开始工作。从大气压力可降到极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽,可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小,而且涡轮分子泵的安装方向不受限制,可在任意方向安装(用油润滑的泵除外,它只能在垂直 5 范围内工作)


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广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀(如配置)被设计为真空安全阀,该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内,并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时,气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩,直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时,少量的油进入吸入室,不仅能够对其进行

润 滑,而且能够将叶片与壳体(定子)密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下,一个孔向外侧打开,让气体流入前侧 的密封吸入室。因此,

在压缩抽吸阶段,在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油,也称为工作液,在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件,填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙,此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外,气镇对极限压力的影响较低, 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型,旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离, 并使用置换气体对泵系统进行排气,防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后,一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力,它

稍作延迟就打开。




潽拓光电——普发真空分子泵}普发分子泵     

普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵常见故障:

抽速慢

卡死

电流偏大

噪音大

达不到全速运转



 广州潽拓光电德国普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵维修

      普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵维修照片:



      Pfeiffer Splitflow 310-3P德国普发分子泵是用在氦质谱检漏仪设备上,Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可达到250 L/s,转速为60000rpm,德国普发Splitflow 310-3P分子泵对应的控制器为: Pfeiffer TC400。



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