武汉科锐诺(多图)-透射电镜EDS技术服务






分辨率是扫描电镜基本的性能判断指标,首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。

通常有关分辨率的问题,都会遵循瑞利判据。即一个光点按照衍射理论会是一个衍射斑,两个光点逐步靠近时,对应的衍射斑也从分离趋于重合。当两个衍射斑的半高宽重叠,则认为不可区分了。此时两个衍射斑之间的距离即为分辨率,。

但一般单帧图像的仪器才完全符合此规律,比如TEM、光学显微镜等。扫描电镜的分辨率以瑞利判据为基础,但也却略有不同。扫描电镜是属于电子束移动型的,并不完全适用半高宽重合的概念。

扫描电镜的分辨率分为理论分辨率、验收分辨率,和一般测试过程中能达到的分辨率。




电子能量损失光谱仪通常在光谱模式和图像模式上操作,这样就可以隔离或者排除特定的散射电子束。由于在许多图像中,非弹性散射电子束包含了许多操作者不关心的信息,从而降低了有用信息的可观测性。这样,电子能量损失光谱学技术可以通过排除不需要的电子束有效提高亮场观测图像与暗场观测图像的对比度。

晶体结构可以通过高分辨率透射电子显微镜来研究,这种技术也被称为相衬显微技术。当使用场发射电子源的时候,观测图像通过由电子与样品相互作用导致的电子波相位的差别重构得出。然而由于图像还依赖于射在屏幕上的电子的数量,对相衬图像的识别更加复杂。然而,这种成像方法的优势在于可以提供有关样品的更多信息。



要获得一张清晰的电镜照片,必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,透射电镜EDS技术服务,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。



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