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氦质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展,SF6真空箱系统检漏,氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展,电力中高压电力环网柜真空箱系统检漏,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

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氦质谱检漏仪在消防器材检漏应用二

消防器材钢瓶检漏方法

目前国内制作钢瓶的厂家很多采用水检法,即将消防钢瓶打上一定的压力,大约 2 MPa,然后将整个钢瓶放入水槽中,看有无气泡冒出,但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况,根据计算得出:气泡直径为?2.26mm 在每分钟冒出一个气泡的情况下漏率约为 1.0 x 10-4 mbar l/s,对于小漏的检测比较难实现。随着我国出口量的增加以及客户对于安全意识的提高,消防钢瓶的检漏需要更高的要求,所以现在的厂家都引入氦质谱检漏仪 进行检漏; 氦质谱检漏仪在钢瓶生产厂家被广泛应用,正压模式,其工作原理如下:氦气充入被检工件压力只要 1.2 个大气压即可----吸对工件找漏点。通常在 正压 模式下,检漏仪报警值设定在 1.5 x 10-5 mbar.l/s,在实际测漏过程中,被检工件的漏率大于此值就会形成漏点报警,小于此值就认为该钢瓶密封要求合格。

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氦气检漏的主要参数及优势

1、关键零部件集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;

2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;

3、特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;

4、实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;

5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);

6、可同时检测多工件,并能按照需求自动判断出具体的有漏工件;

7、定制的的密封接头,,减少误判。

8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。

9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。

今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助!






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