此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越，全自动单工位旋转喷淋清洗机定做，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

单工位喷淋清洗机

属于清洗设备技术领域，为解决现有的喷淋清洗机工作效率低的问题而设计。本实用新型提供的单工位喷淋清洗机包括底座、位于所述底座上方的上料箱、设于所述上料箱一侧的喷淋清洗装置和储液槽、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动所述机械手的驱动装置以及控制系统，其中，全自动单工位旋转喷淋清洗机哪家好，所述储液槽内设有撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒。本实用新型的单工位喷淋清洗机工作、操作和维修方便。

熔化工部

      熔化工部主要包含塔式熔化炉、保温炉，除气机等配套设施。目前铝金合熔化炉主要采用熔化电炉和“塔式熔化炉+电加热保温炉”两种熔化方式，熔化电炉使用成本较高。目前国内铝金合燃气塔式炉主要采用外资品牌，如东大三建、正英集团、史杰克西等。我公司采用“塔式熔化炉+电加热保温炉”的形式，塔式熔化炉集中布置，三门峡全自动单工位旋转喷淋清洗机，与压铸区局部隔离布置。燃气塔式炉集中熔化，电加热保温炉布置于压铸机旁实现自动化生产。炉前配备除气装置，除气设备选用某国产某品牌，确保金属液质量的。考虑炉前操作人员的安全环保和职业健康，塔式熔化炉配备抽风除尘系统和燃气泄漏报警装置。熔化工部工艺流程为：配料→ 加料→熔炼→ 出铝→除气检测→转运→保温。

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