此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越，手动单工位喷淋清洗机定制，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

单工位旋转喷淋清洗机

我们现在使用的清洗机IFU测试要求我们测试清洗机的每一层，而我们之前的测试只测试其中一层。按位置而言，成都单工位喷淋清洗机定制，中间层具有挑战，所以如果中间层测试合格在我看来就代表所有层都合格。我想听听您的意见，清洗机做清洗测试，单工位超声旋转喷淋清洗机，全自动单工位喷淋清洗机定制，是否需要做清洗架的检测，是否需要检测每一层的性能？还是只需要检测其中一层？

答：要准确得评估一台清洗机的性能，一定要测试清洗机的每一层。清洗架是非常重要的设备，具有必须执行的可移动部件和结构。除顶层和底层外，清洗架每层都有喷淋臂。连接到舱体底部和顶部的喷淋臂为顶部和底部搁架提供水和机械清洁动作，其它架层的喷淋臂具有相同的功能。清洗架上还有与供水管线对齐的连接口。

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资金投入段：2-三个承载部位，控制器认知工作服篮有没有，选用气缸升降机移载方法资金投入，运作的：Z向气缸升高→X向气缸右移→Z向气缸降低→X向气缸退还起点→遵循此方法将工作服篮资金投入到洗净承载座上.注：本组织设立程序流程维护作用及SENSOR检知。洗净段：关键组成；承载位一个，洗剂槽两个，自喷槽一个，洗净槽两个，慢提拉紧致槽一个。承载位：一个，工作服篮移进承载部位以后，全自动单工位喷淋清洗机定制，马上送进后段洗剂槽。洗剂槽：两个，应用洗剂(人工服务加上) 纯水，配超声波波动提升清理实际效果，超声波抗压强度1800W，頻率40/80kHz双频挑选，洗剂槽温度设定在40-五十度。自喷槽：一个，自喷纯水，纯水来源于后段洗净槽，自喷时必须上下往复式挪动以提高自喷实际效果，温度在40-五十度。洗净槽：两个，纯水，配超声波波动提升清理实际效果，超声波抗压强度1800W，頻率40/80kHz双频挑选，洗剂槽温度设定在50-70度。

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