1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道深度20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。

1 微流控金属材料材料

金属流道，亚克力芯片哪家好，包括不锈钢和钛。

2 制备方式

2.1 机加工

金属微流控芯片的金属流道zui小流道宽度：0.2mm，深宽比1：1，加工精度±20um

2.2 电火花加工

金属微流控芯片的金属流道zui小流道宽度：0.1mm，深宽比1：1，加工

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微流控玻璃芯片的价格因尺寸、复杂性、材料和制造工艺等因素而异。一般来说，微流控玻璃芯片的价格在几百到几千美元之间。对于简单的芯片，价格可能在几百美元左右，亚克力芯片怎么样，而对于复杂的芯片，价格可能在几千美元以上。此外，批量购买可能会比单个购买更便宜。总的来说，微流控玻璃芯片的价格因具体需求而异，需要根据具体情况进行评估。

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