真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。

进水管的进水口方位不对①进水管的进水口离进水池底和池壁间隔小于进水口直径。若是池底有泥沙等污物时，进水口离池底的间隔小于直径的1.5倍时，会形成抽水时进水不畅或吸进泥沙杂物，阻塞进水口。②进水管的进水口入水深度不行时，这样会引起进水管周围水面发生漩涡，影响进水，削减出水量。正确的装置办法是：中小型水真空泵入水深度不得小于300～600mm，大型水真空泵不得小于600～1000mm。

真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。