广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵 安捷伦TwisTorr 304 FS维修及保养

气体分子的入射频率　　气体分子在单位时间和单位面积内碰撞固体表面的数量称之为入射频率。入射频率r和压强p[pa]、气体相对分子质量mr、温度t[k]之间的关系表示为：r=2.6×10-24 p/(mrt)1/2[个/(m2·s)] (1-6)

　即入射频率和压强成正比例、和气体相对分子质量平方根及温度的平方根成反比例关系。

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  高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行

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高真空涡轮分子泵是什么？

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，茂名瓦里安涡轮分子泵，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，瓦里安磁悬浮涡轮分子泵，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

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