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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





广州潽拓光电科技有限公司——普发HiPace120进口分子泵维修保养普发真空涡轮分子泵

Pfeiffer MVP 010-3 DC

产品优势

1.干燥、无油的真空环境

2.膜片的使用寿命长

3.低振动,低噪音

4.操作安全系数高

5.通过简易的隔膜和更换阀门实现简易的维护

6.通过双电压电机或直流驱动适用于的范围



旋片泵油主要起到密封, 润滑阀门和轴承以及对泵体冷却的作用, 建议每 12 个月更换一次泵油. 可以通过油视镜定期对泵油的颜色, 污染物, 油位进行观察. 油位建议在 1/3 -1/2 之间, 油过多会导致油外流, 过少会导致旋片泵温度过高, 易损坏. 如果泵油的颜色达到了第 5 种颜色(从左边数), 泵油变浑浊, 必须立即更换.



抽速是分子泵的关键主要参数,提升 转速比是增加抽速更为立即的方式之一,伴随着转子动平衡技术性的发展趋势,分子泵转子可顺利地在超高速旋转下平稳运行。伴随着管理科学的发展趋势,分子泵转子原材料也发生了转变,能用硬铝合金型材、碳纤维材料、铝合金等高韧性原材料做成,这使转子的转速比获得进一步提高。

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气镇阀:真空泵设计用于泵出可冷凝气体,由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时,止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油,改善泵的润滑条件,扩大泵的应用范围,旋转叶片泵还配有许多附件,如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。普发分子泵维修费用



Pfeiffer普发HiPace700M磁力泵维修,Pfeiffer HiPace 700M德国普发磁悬浮分子泵维修,Pfeiffer  HiPace 700M普发涡轮分子泵进气法兰口DN160 ISO-K/DN160 ISO-F/DN160 CF-F,出气法兰口DN25 ISO-KF,抽速可达到685 L/s,转速为49200rpm,极限压力1X10-11 mbar,对应的控制器为:Pfeiffer TC400等



如果系统需要有粗抽管道,操作不当也有可能出现返流问题,若是将系统粗抽到太低的压力,粗抽管道内就会出现分子流态。则粗抽泵的油蒸汽就有可能返流到真空室。当压力低于100~200 μmHg(13.33~26.66Pa)时,就会出现这种返流。普发分子泵维修费用

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样,其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积,以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下,轴端是密封的,是利用带水封环的填料进行密封处理的,其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的


PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent(VARIAN)、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪,普发HiPace120进口分子泵维修保养,及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出气法兰口DN16ISO-KF,抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空<1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.


当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,z近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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