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真空系统常用名称
①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
Pfeiffer HiPace 80德国普发涡轮分子泵维修，Pfeiffer HiPace 80抽速可达到67 L/s紧凑有力的涡轮分子泵。紧凑设计适合广泛应用。高抽速和*大压缩比。集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54、半导体S2、UL / CSA认证。通过分子泵控制器，监控运算元据保证分子泵的*大可靠性。理想可靠的集成系统，可以安装在任何位置。
变容真空泵
利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：
（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。
（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。
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Pfeifer Duoline旋片泵盖了中低真空范围(zui高为10-3 hPa)的所有应用。即使对于像干燥工艺、冶金工艺或树脂究注系统等要求苛刻的工业应用，普发分子泵控制器维修中心，这些泵也能提供可靠的操作一作为单独的泵，或者在我们的罗茨泵组或涡轮分子泵组中作为前级泵。得益于其创新性的驱动器概念，这些泵都被密封，使得它们清洁且与环境兼容。由于磁耦合旋片泵没有径向轴密封件，所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保养中心
真空泵维修：
真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象；或者有些泵有下述现象之一者:
如泵发生“卡死”现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳（硅汕进入机械泵内，就可能产生这种情形），旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物（金属屑、玻璃屑、铜屑等）划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害（超过70℃）等，均需将真空泵全拆开进行清洗修理。
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：
(1)一般水泵，普发分子泵控制器电流，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。
(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。
(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，普发分子泵控制器发热，(10-3mmHg)为'高'真空。
若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的
PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s， 转速为90000rpm，极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.
当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，中山普发分子泵控制器，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。
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