广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵进水

Varian Turbo-V 81-M分子泵维修，自有物流，运输成本低，安quan可靠

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Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技术，Macro Toree是目前shi界上zui有效的涡轮级设计技术。

Varian Turbo-V 81-T，都是varian TV81系列，转速都是80000，DN63口径时，抽速都是77L/s，启动时间都是60秒，分子泵电源可以相互通用

   分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，在排除漏气的情况下，说明分子泵内部脏化了，就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化

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   对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，瓦里安涡轮分子泵进水，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗


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   真空泵长期使用后，多少都会出现真空泵漏油现象。如果只是小范围的渗漏，只要泵油在油视镜观察的正常范围以内，可以暂时不用管，若油位己低于正常范围了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否则可能会使真空泵损坏。注意，油位如果太高也可导致喷油，加到油视镜三分之二处。

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真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

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