流量控制器的特点

地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

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流量控制器

使用挥发性液体蒸发汽， 气压很低， 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源， 气压很低， 用普通MFC， 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明， 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC， 这时MFC的工作压差范围， 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时，热式气体流量计厂家， 不能让汽化物在MFC中结露， 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和MFC适当加温， 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温MFC产品。

流量控制器的控制响应速度

物理时间常数

物理时间常数用希腊字母Tau来表示，是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一，即：控制器到达设定值某个百分比所需要的时间，被定义为1-1/e， 其中e是作为自然对数底数的无理数，其值为2.72，所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准，北京热式气体流量计，可能说明不了什么问题，因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到：ALICAT?质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。

任意设定值百分比变化区域

不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度，比如：从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化，热式气体流量计价格，由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示，ALICAT?质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值， 从示波器波形图中可以清晰地观察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言，热式气体流量计哪里有，如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话，那么结论是6~7毫秒。

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