前烘

1）将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，SU8光刻机设计，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

曝光

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行曝光，曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置曝光能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，淮安SU8光刻机，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，SU8光刻机哪家好，确认图案的清晰度和质量。

注射泵是一种可以jing确控制液体流量的设备，因此在微流控领域有广泛的应用。微流控技术是一种利用微型通道和微型结构进行流体控制和分析的技术，主要应用于生物医学、化学和材料科学等领域。以下是注射泵在微流控领域中的应用：

1.病原体检测：注射泵可以用于微流控芯片中进行液体的输送，从而实现病原体的检测。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合样品和试剂，从而实现病原体的分离和检测。

2.药物筛选：注射泵可以用于微流控芯片中进行药物的输送和分配。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地混合药物和细胞，从而实现对药物的筛选和评估。

3.细胞培养：注射泵可以用于微流控芯片中进行细胞培养。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送细胞培养基和营养物质，从而实现对细胞的培养和研究。

4.DNA分离和分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行DNA的分离和分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送DNA样品和试剂，从而实现对DNA的分离和分析。

5.蛋白质分析：注射泵可以用于微流控芯片中进行蛋白质的分析。通过控制注射泵的流速和流量，可以在微流控芯片中jing确地输送蛋白质样品和试剂，从而实现对蛋白质的分离和分析。

2、平台组成2.1 电子秤

量程：0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小：16x18cm

2.2 脱泡器

材质：PC材料隔板直径：230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空

2.3 PDMS浇筑器

材质：铝合金真空吸附硅片规格：适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑

2.4 烘箱

温度范围：10℃~300℃温度分辨率：0.1℃温度波动：±0.2℃内胆材料：不锈钢内部尺寸：35x35x35cm（长x深x高）外部尺寸：46x56x64cm（长x深x高）电源：220V功率：0.8KW2.5 PDMS芯片打孔器介绍PDMS芯片打孔器，SU8光刻机价格，借鉴了台钻的机械原理，并对he心结构进行了优化，使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片（如PDMS芯片、硅胶芯片等）的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔深度（范围为0-20.0毫米），可更换不同内径针管（范围直径0.41-9.0毫米）控制进样孔尺寸。

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