旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。

喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，张家口单工位旋转喷淋清洗机定做，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，手动单工位旋转喷淋清洗机定做，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。

此装置一方面采用的水雾式喷淋，摒弃了普通打水管水量大，易积水的缺点，手动单工位旋转喷淋清洗机定做，另一方面以可移动小推车的形式，使用轻便牢靠水管与快速接头，全自动单工位旋转喷淋清洗机定做，随用随收，灵活机动，解决了处理场场地水管布排困难的问题且不影响来往车辆。同时该装置只需一人负责开启与关闭，便可兼做其他工作，很大程度的减少了人工，也达到了全天降尘的效果。现投入的八个喷淋点与购买厂家的防尘设备相比，总费用由数十万元降到三千元，小发明，也能带来大效果！目前，该装置现已移交给钢渣处理场投入使用，相应的操作规定已制定好并补充到安环体系文件中。

单工位喷淋清洗机

提供一种单工位喷淋清洗机，包括机架、气控门、旋转底盘、限位销、钩料销、旋转夹料气缸、电机、轴承座、轴承、电控柜、储液槽、进水泵、喷淋泵和喷嘴，所述气控门设置在所述机架上，所述旋转底盘的表面上设置有所述限位销和所述钩料销，所述旋转夹料气缸与所述钩料销电性连接，所述轴承的一端连接有所述电机，另一端通过所述轴承座与所述旋转底盘连接，所述电控柜控制所述单工位喷淋清洗机，所述储液槽位于所述旋转底盘的下部，所述进水泵和所述喷淋泵分别与所述储液槽相连接，所述喷嘴与所述喷淋泵连接且位于所述旋转底盘的附近。

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