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美国的Agilent公司（原美国HP公司，分析仪器部）于2010年收购了Varian。

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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。

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