特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，特种气体供应商，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，高纯特种气体，稳定性良好和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。

特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体厂家，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，合肥特种气体，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体从应用领域来看，主要包括电子气体、标准气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，是下游的行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“血液”。

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