氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。

严格地讲，任何真空系统都有漏气现象存在，储能防水检测，漏气是一定的。针对不同的真空系统，可以容许有一定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样，比较具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。

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