设计条件（设计参数）：洁净车间温度要求20℃~25℃；湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置：空调末端采用高效过滤器；洁净空调机设在模条房，楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域：洁净车间洁净度1万级面积约110m2；洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等，隔离外界污染。洁净区人员流动方向：换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门，便於人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向：传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序；b、其它区域：由甲方自行负责，不在本设计方案范围内。

和其他产业不同，激光切割净化车间维护，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。

洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，SMT净化车间维护，以确保空气的含尘浓度较低，江苏净化车间维护，减少外部尘源影响，提高洁净室的净化效果，超声波净化车间维护，并大大延长高效过滤器的使用寿命，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m3/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。

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