流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，实验室气体流量计哪里有，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，数字流量计哪里有，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

有哪些通讯方式的流量控制器？

目前我公司的热式气体质量流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。产品耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。热式气体质量流量控制器/流量计的通讯方式常分为：模拟式和数字式两种。智能仪表随着80年代初单片机技术的成熟而发展起来，当初是数据模拟信号输出简单过程量，后来仪表接口是RS232接口，这种接口可以实现点对点的通信方式，但这种方式不能实现联网功能，随后出现的RS485解决了这个问题。

国内使用广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

很多朋友对热式气体质量流量控制器和质量流量计的单位还有不理解的地方，今天咱们就来好好理解一下流量控制器和流量计在生活中所常用的单位。质量流量计和流量控制器的工作原理

一般地，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升；m代表minute，指分钟；其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。松盛测控将标准状态规定为：气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—20℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。怎么样区分热式气体质量流量控制器与质量流量计

而对一些朋友而言：体积流量的表示方法很符合习惯，福建流量计哪里有，也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。也有一些朋友习惯用流速来表示，流速可以经过简单的计算得到转换成流量，流量和流速的换算关系由以下公式进行计算：Q=V·S，其中V代表气体在管道中的流速，S为钢管的截面积，Q代表气体在特定的时间内流过的流量。其中Q的单位是m/s，V的单位是m/s，S的单位㎡。

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