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喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵
复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。
在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。
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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修
真空常见故障、产生原因
1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通，泵腔内没有保持适当的油量
2.泵运转中温升太高，使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大，使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当，端盖板螺钉松紧不一，转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修
3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量， 清洗时用高压空气吹通油孔，把沉积物清洗干净通冷却水降温， 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合，调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈，拧紧气镇阀电动机超负荷运转，甚至转不动， 发生“ 卡死”现象 。
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为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施：进口分子泵厂家
1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。
2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。
3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。在轴的初步设计时，应对其临界转速进行验算，至少使其与工作转速相差 20 %左右，否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。
4、对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外，还有利于越过共振区，衰减高频振动和噪音的作用。
5、为减少分子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分子泵的影响，在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振作用。
真空泵常见故障
极限真空是指泵浦在稳定工作状态下能达到的低真空压力值，泵浦开启后不久便能达到所属低压力范围，真空泵在经过运行一段时间后，泵浦温度升高会导致润滑油的饱和蒸汽压以及粘度等性能参数发生变化，极限真空压力回有一定的小幅度的波动，但经过一段时间运行后会趋向于一个稳定的真空压力值。
认为真空泵机组内密封水量不足，造成真空泵机组底部水量未充满，气水分离器内的空气漏入真空泵内，使得真空泵内的负压形成得不够高，喷射器的工作抽吸力不足。据此临时采用手动启动方式，ULVAC高真空分子泵保养联系电话，先启动密封水泵运行5min，然后再启动真空泵，这样有效地控制了真空的降低，同时将冷却器进行清理(发现冷却器内较脏)，保证了密封水量充足。采取以上措施后，在倒换真空泵组运行过程中，未再有真空下降的异常发生。泵和附件可以作为单个部件提供，也可以作为完整系统化、经过出厂测试的组合提供。
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