特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，六安特种气体，稳定性良好和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，特种气体公司，故又称为气体标准物质。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，特种气体厂，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。

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