pvd真空镀膜炉与您分享真空蒸镀的设备及物理原理

真空蒸镀设备主要由真空室和抽真空系统组成，注塑特种灯具反光杯，真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、排气系统等。

将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中，在高真空条件下，通过蒸发源加热使其蒸发，当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后，膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍，可直接到达被镀的基片表面上，由于基片温度较低，膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。

真空镀膜操作规程

1.在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。

2.在离子轰击和蒸发时，特种灯具反光杯注塑加工，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。

3.在用电子qiang镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃zui好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。

4.镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。

5.易l燃有毒物品要妥善保管，东莞特种灯具反光杯，以防失l火中l毒。

6.酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。

7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。

8.工作完毕应断电、断水。

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