leybold涡轮分子泵-广州潽拓光电
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德国莱宝分子泵 leybold Turbovac SL80



Leybold  SL80分子泵有四种型号,分别为:

Leybold SL80 DN40 ISO-KF

Leybold SL80 DN63 ISO-K,

Leybold SL80C DN63 ISO-K

Leybold SL80 DN63CF,

Oerlikon Leybold Turbovac SL80的转速为72000rpm,对应的极限真空值为2*10-10mbar







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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,leybold涡轮分子泵维修,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,leybold涡轮分子泵修理,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,leybold涡轮分子泵价格,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,leybold涡轮分子泵,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏








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广州潽拓维修德国莱宝LEYBOLD半磁浮分子泵TURBOVAC T 350 i


TURBOVAC 350 i/iX

连接口:DN 100 CF,有控制器

通讯接口:USB, RS-232

产品号 830061V3300

抽速 (Ar): 260 l/s

抽速 (H?): 350 l/s

抽速 (He): 360 l/s

抽速 (N?): 290 l/s








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