质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，质量式流量计公司，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，它可以保证数据质量，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，经由设计及生产的混气腔室后输出。配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，安全和可靠，体积小巧、重量轻，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。

热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？

流量控制器

紧凑而坚固的仪器设计，湖南质量式流量计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，质量式流量计多少钱，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，质量式流量计报价，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

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