广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵，分子泵

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Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空，分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s，爱德华磁悬浮涡轮泵维护，对应的控制器为Edwards EXDC160。

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Edwards产品应用于多个行业，含化学和工艺泵（CDX/CXS/EDP系列）、机械增压泵（EH/HV/pXH/Stokes 6”系列）、油封旋转泵（EM/ES/RV系列等）、扩散泵（蒸汽泵/HT等）、小型干泵（隔膜泵/涡旋泵）、工业干泵（GV/GXS/IDX系列等）、半导体干泵（EPX/GX/iGX/iH/iXH/iXL系列）、分子泵（nEXT/STP/TS85系列等）

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