广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵TwisTorr 704FS

Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升1分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

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分子泵出现工作压力起伏大的原因和处理方法

故障剖析：吸进管道漏汽；泵挤出机螺杆与泵套不一样心；阀门沒有校准好，安捷伦分子泵TwisTorr 704FS，或压力过大，使安全法时开落闭。

解决方法：检查管道并维修好；维修调节或拆换；再次校准阀门或减少压力。

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