在半导体制造业中,高纯氦气扮演了怎样的角色?
在半导体制造业中,高纯氦气扮演了至关重要的角色。高纯氦气作为惰性气体,能够有效保护硅晶片免受空气中活性成分的影响,避免不必要的化学反应,确保生产过程的稳定性。同时,高纯氦气凭借其高导热性能,能够有效散发热量,控制硅片温度,防止热损伤,这对于半导体产品的小型化和性能提升至关重要。
此外,在光纤和显示屏等电子设备的制造中,高纯氦气也发挥着重要作用,如参与光纤的快速冷却过程,以及优化平板显示屏的制造流程。
【郑州瑞安气体科技有限公司】主导产品为高纯氦气、高纯氮气、高纯氢气、高纯氧气、高纯空气、高纯二氧化碳等,如果大家有需要的话,就联系我们进行咨询吧。
生产高纯氦气的主要方法有哪些?
生产高纯氦气主要有以下方法。
一是低温冷凝法。利用各种气体沸点的差异,将含有氦气的混合气体深度冷却,使其他气体先液化,从而分离出氦气。这种方法能获得高纯度的氦气,但设备复杂,能耗高。
二是变压吸附法。利用吸附剂在不同压力下对不同气体吸附能力的差异,在压力变化过程中选择性地吸附杂质气体,使氦气得到提纯。这种方法操作相对灵活简单,不过纯度可能稍低于低温冷凝法。
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变压吸附法生产高纯氦气的原理是什么?
变压吸附法生产高纯氦气主要基于吸附剂对不同气体的吸附选择性和压力变化的影响。
吸附剂表面存在许多活性位点,在一定压力下,对杂质气体(如氮气、氧气、二氧化碳等)有较强的吸附能力,而对氦气吸附较弱。当混合气体通过装有吸附剂的吸附塔时,杂质气体被吸附在吸附剂表面,氦气则顺利通过。
随后通过降低压力,被吸附的杂质气体从吸附剂表面解吸,使吸附剂得以再生。通过多个吸附塔循环进行吸附 - 解吸过程,不断去除杂质,然后得到高纯氦气。
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