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真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
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干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，pfeiffer普发分子泵公司，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。
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要了解真空泵卡死的原因，我们首先要了解真空泵的结构，是有真空泵泵体（缸体，转子），油箱，油管，联轴器，电机（马达）等部分组成，真空泵是属于旋片式真空泵，有油式真空泵，无油真空泵两种，油式真空泵是用真空泵油来润滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不仅起润滑作用，还起到密封作用，真空泵的压力和流量都是要靠真空泵油的正常运转来保证的。真空泵油在运转时，通过真空泵油管把油箱里面的真空泵油带到泵体，在泵体里面运转后再通过回油管回流到油箱里面，因为真空泵运转时温度会达到70-105度，部分真空泵油会变成油气，随着尾气排到排气口，通过没有失效的油雾分离器（排气过滤器）过来下来，又回流到真空泵油箱里。要保证真空泵不因缺油而卡死，我们就要保证真空泵油油量要足，管道通畅，真空泵油不乳化，不产生淤泥能够在真空泵里面流动。
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在进行进口真空泵维修的时候，还有一个方面的因素是我们必须要注意的，那就是一定不能让自己的设备带着故障工作，因为这种不仅仅是会影响工作的效果，而且会有可能造成更加严重的后果。
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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。
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直联旋片真空泵的返油
(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。
(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，广州pfeiffer普发分子泵，可进行调换。
(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，pfeiffer普发分子泵漏油，可进行修整。
(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。
注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准
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