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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，普发分子泵控制器烧坏，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

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分子泵是一种利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 它不同于传统的容积式机械泵，其抽气机理是在分子流区域内，通过高速运动的刚体表面传递给气体分子动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的

如果不采用一个操作合理的前级管道**阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。德国普发分子泵电源维修

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旋片真空泵怎么拆？旋片真空泵拆卸步骤：

(一)、拆卸：

1．放油

2．松开进气咀法兰螺钉，普发分子泵控制器报警，拔出进气咀，松开气镇法兰螺钉，拔出气镇阀。

3．拆下油箱。

4．拆除止回阀开口销，普发分子泵控制器电流，拆下止回阀叶轮。

5．拆除支座与泵的连接螺钉，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定。

6．松开泵盖螺钉，拆下泵盖，拉出二转子及旋片。拆下低级转子时，麻先拆下开口销。

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引起进口轴承过热的原因包括：润滑不足或过分润滑，润滑剂。内含有杂质，负载过大，进口轴承损环，间隙不足，及油封产生的高磨擦等等。若进口轴承在超过125℃的温度长期连转会降低进口轴承寿命。好凯德螺杆泵轴承高温表示螺杆泵轴承已经处于异常情况。高温有害于螺杆泵轴承的润滑剂。有时进口轴承过热归诸于进口轴承的润滑剂。

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真空泵抽不到极限真空度的原因

   当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

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直联旋片真空泵的噪音

　　(1)真空泵旋片弹簧折断，可调换弹簧。

　　(2)真空泵的有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。

　　(3)真空泵的轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。

　　(4)真空泵的电机出毛病，应进行检查。

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